Аннотация. В работе выполнен анализ условий образования микродефектной структуры в бездислокационных монокристаллах кремния. Установлено, что образованию свирл-дефектов способствует накопление примеси в расплаве у фронта кристаллизации при выращивании монокристалло
Ключевые слова: кремний, фронт кристаллизации, монокристалл, примесь, неоднородность, кислород, углерод, микросхема, концентрация, переохлаждение, фаза
Abstract. The analysis of terms of formation of a micro defect structure is executed in the dislocation-free single-crystals of silicon. It is set that formation of swirl defects is assisted by the accumulation of admixture in fusion at front of crystallization at
Keywords: silicon, front of crystallization, single-crystal, admixture, heterogeneity, oxygen, carbon, microcircuit, concentration, super cooling, phase