Осадчук Владимир Степанович,Осадчук Александр Владимирович,Крылик Людмила Викторовна ,Евсеева Мария Васильевна,,,
Микроэлектронные сорбционные сонсоры влажности
Аннотация. Разработаны микроэлектронные сорбционные сенсоры влажности, в которых влагочувствительный слой изготовлен на основе гигроскопических солей; гигроскопических солей с защитным полимерным покрытием, а также влагочувствительных комплексных соединений.Использ.
Ключевые слова: Емкостный влагочувствительный элемент, комплексное соединение, диэлектрическая проницаемость, гигроскопическая соль, сенсор, сорбция, смесь, влажность..