В статье описывается процесс очистки кремниевого сырья, сильнолегированного мышьяком; приводятся результаты теоретического расчета эффективности данного метода. Метод заключается в сочетании процесса высокотемпературного вакуумного отжига с последующей кристаллизационной очисткой по методу Чохральского.
Ключевые слова: кремний, легированный мышьяком, кристаллизационная очистка, вакуумный отжиг.
The paper describes purification process for heavily-doped with arsenic silicon feedstock and presents theoretical calculation results of the method’s effectivity. Method includes high-temperature vacuum annealing of melted silicon and subsequent crystal growth by Czochralski method.
Key words: heavily-doped with arsenic silicon feedstock,, purification by crystallization, high-temperature vacuum annealing.
Радченко И.Н.
СИЛЬНОЛЕГИРОВАННОЕ МЫШЬЯКОМ КРЕМНИЕВОЕ СЫРЬЕ: РАСЧЕТ ЭФФЕКТИВНОСТИ МЕТОДА ОЧИСТКИ
Калужский филиал МГТУ им. Н.Э.Баумана
Калуга, Баженова 4, 248000
Радченко И.Н.
SILICON FEEDSTOCK HEAVILY-DOPED WITH ARSENIC: CALCULATIONS OF PURIFICATION METHOD EFFECTIVITY
Bauman Moscow State Technical University, Kaluga Branch
Kaluga, Bazhenovast., 4, 248000