УДК 538.975
UDC 538.975
Яремій І. П., Томин У. О., Уманців М. М., Кравець В. І.
ТРАНСФОРМАЦІЯ ЕЛЕМЕНТАРНОЇ КОМІРКИ В ПРИПОВЕРХНЕВИХ ШАРАХ МОНОКРИСТАЛІВ ҐҐҐ ПІСЛЯ ІМПЛАНТАЦІЇ ІОНАМИ НЕ+
Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника,
Івано-Франківськ, Шевченка57, 76000
UDC 538.975
Yaremiy I. P, Tomyn U. O., Umantsiv M. M., Kravets V. I.
TRANSFORMATION OF THE UNIT CELL IN GGG SINGLE CRYSTALS SUBSURFACE LAYERS AFTER THEIR IMPLANTATION BY НЕ+ IONS
Vasyl Stefanyk PreCarpathian National University,
Ivano-Frankivsk, Shevchenka 57, 76000
Досліджено трансформацію кристалічної ґратки в іонно-імплантованих шарах монокристалів ґалій-ґадолінієвого ґранату.
Ключові слова: профіль деформації, іонна імплантація, ґадоліній-ґалієвий ґранат, елементарна комірка.
The transformation of the crystal lattice in ion-implanted layer of gadoliniumgallium garnet single crystal was investigated.
Key words: deformationprofile, ion implantation, gadoliniumgallium garnet, unit cell.