УДК 539.3
Сахабутдинов И.Н., Максимов П.В.
Анализ состояния проблемы моделирования деформированного состояния элементов MEMS-систем
Пермский национальный исследовательский политехнический университет,
614990, Россия, Пермь, Комсомольский проспект 29
UDC 539.3
Sahabutdinov I.N., Maksimov P.V.
Analysis of the problem of modeling strained state of mems-systems
Perm National Research Polytechnic University,
614990, Russia, Perm, Komsomol ave. 29.
Применение MEMS. Дефекты в MEMS-структурах. Влияние температурных и электромагнитных полей на характеристики устройств. Прикладные модели MEMS-систем.
Ключевые слова: MEMS, моделирование, связанные задачи.
Application of MEMS. Defects in MEMS-structures. The influence of temperature and electromagnetic fields on device characteristics. Applied MEMS-model systems.
Key words: MEMS, modeling and simulation, coupled problem.