УДК
Осадчук Александр Владимирович,Koenig Elena,Benedikt Schulte,Guido Meier,Осадчук Ярослав Александрович,,
Оптимизация двухслойных резистов для лазерной литографии на подложках, необходимых для широкого применения в сенсорной СВЧ технике
Optimization of two-layer resists for laser lithography on substrates required for wide application in microwave sensor technology
Аннотация.
Ключевые слова:
Abstract.
Keywords: