УДК 004
Калинкина Мария Евгеньевна,,,,,,
СОВРЕМЕННЫЕ ТЕНДЕНЦИИ РАЗВИТИЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ГИРОСКОПОВ
Kalinkina M.E.
Current trends in the development of micromechanical gyroscopes
Аннотация. В работе рассматриваются современные тенденции развития микромеханических гироскопов
Ключевые слова: гироскоп, аксилерометр
Abstract. The paper considers modern trends in the development of micromechanical gyroscopes
Keywords: gyroscope, accelerometer, MMG, micro devices, microelectromechanical systems