УДК 621.315.592
Горбачук Н.Т.
ПЬЕЗОРЕЗИСТИВНЫЕ ЭФФЕКТЫ В ПОЛУПРОВОДНИКАХ И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ТЕНЗОДАТЧИКАХ
Киевский национальный университет технологий и дизайна
Киев, Немировича-Данченка, 2, 01011
UDC 621.315.592
Gorbachuk N.T.
PIEZORESISTIVE EFFECT IN SEMICONDUCTORS AND SEMICONDUCTOR STRAIN SENSORS
Kiev State University of Technology and Design
Kiev, Nemirovicha-Danchenka, 2, 01011
В статье рассмотрены пьезоэффекты в полупроводниках типа кремния. Проанализирован механизм передачи деформации от исследуемого объекта к чувствительному элементу тензодатчика.
Ключевые слова: коэффициенты пьезосопротивления, тензодатчик
The article describes the piezoelectric effect in semiconductors silicon. Strain transfer mechanism is analyzed from the researched object to the sensitive element of the strain sensor.
Keywords: piezoresistance coefficients, strain sensor