УДК 539.3
Сахабутдинов И.Н., Максимов П.В.
Особенности реализации численного решения связанных задач
ФГБОУ ВПО «Пермский национальный исследовательский политехнический университет», Россия
В работе на примере емкостного микроакселерометра рассматриваются два способа реализации численного решения связанной электромеханической задачи. Проводится сравнение методов по скорости счета. Даются рекомендации по их применимости, в зависимости от решаемой задачи.
Ключевые слова: MEMS-системы, связанные задачи, численные методы.